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洁净室检测湿度要求分别是多少?

时间:2020-11-24 11:37 点击次数:

洁净室相对湿度是确定一个洁净室正常运行条件的要给基础环境参数,而且可允许的的湿度范围都非常精确。洁净室为什么要如此精确的湿度控制?洁净室检测为什么都会检测湿度?用什么仪器可以检测湿度?
因为相对湿度会影响场所工作的主要因素产生影响:
1静电释放的风险
相对湿度水平低于30%更容易产生静电释放,严重损坏电子元器件。尤其是以生产半导体,微电子为为例。静电击穿,造成损失高达30%。
2产生微生物的污染
相对湿度超过50%会导致细菌繁殖,和其他生物污染(病毒,真菌,霉,螨),相对湿度在40%-60%之间能使细菌和呼吸系统感染的影响减少到最小。
3影响化学反应的速度
很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,都取决于相对湿度,精密的湿度控制意味着能够更好的控制这些过程。
4光感剂性能不稳定
由于光感剂的粘性(敷设等厚膜的可能性)对相对湿度及其敏感,因此当处理半导体的时候,湿度的控制要求极端的精确。
5增加毛管压力
在高相对湿度水平下,毛管压力增加对表面的水粒子的黏附,这些毛管压力可能会对处理的速度和精确产生不想要的结果。
6人身生活舒适度。
相对湿度在40%-60%之间代表人体生活舒适区间,高湿度导致一个不舒适的感觉,而低湿度会涉及干燥。

洁净室湿度控制

产品工艺要求, 环境控制考虑,GMP要求

医药洁净室湿度要求

98GMP:无特殊要求时, 洁净室(区) 的温度应控制在 18~26℃, 相对湿度控制在 45~65%。

兽药 GMP:无特殊要求时, 洁净室(区) 的温度应控制在 18~26℃, 相对湿度控制在 30~65%。

2010GMP、 欧盟等:只要原则性条文, 无具体规定。

洁净室设计规范

洁净室检测湿度的方法:
DP70B手持表是瑞士 ROTRONIC 在中国的OEM产品,是一款性价比特别高的露点仪。它的探头是全不锈钢的,仪表外壳是原装进口铝合金的,非常厚重、结实。无论 是技术还是外壳材质全部是原装进口的,价格仅为进口的一半不到。它汇集了当今所有湿度测量的高端技术,把湿度精度提高到 0.5%RH。从而保证露点的测量精度。

DP70B

DP70B露点仪精度高、 稳定性好、 成本低的温湿度检测,采用具有高精度, 防干扰等优点的传感器, 结合单片机嵌入式系统技术, 设计完成的系统具有易携带、 低功耗等特点, 从而克服了传统温湿度检测系统需要复杂的校准过程和精度较低的缺点。

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