洁净室检测第一步
时间：2020-12-22 08:48 点击次数：
气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，放在洁净室检测的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。只有在无法使用气罩的场合（气罩体积较大，有时会受限制），才能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。风量测量的目的通常是用来计算换气量，一般是在非单一流向型无尘室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。
1单一流向型洁净室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型洁净室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。
二、使用仪器
洁净室里面使用的HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速度多半都控制在0.5m/s 以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如泰仕风速计或者TSI风速仪。轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计虽然高频响应良好，但是低速时 〈 0.5m/s 以下 〉 准确性很低，因此不很适用。
一般热反应风速计常用的是风速计。转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。
风速仪测量为间接式测量，风量罩测量为直接测量，风量测量应当使用气罩（ Flow Measuring Hood ），气罩的测量范围是 15~2500 cfm ，精确度要求为读数的 ±3% 。由于气罩本身会产生压损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子，应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要，必须主机连同罩子一起校正，才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。 因此在洁净室检测中，第三方检测机构选择风量罩检测,风速仪可以作为日常巡检使用。
三、 测试步骤
(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。
(2) 取样点位于滤网下方 75-150mm 处。
(3) 每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每 1 平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每 4 平方英尺取一点。
(4) 每测量点必须取 5 秒的平均。
(5) 依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。
(6) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。
四、数据分析 1风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。 1. 平均值：2. 标准差
